濺射薄膜壓力傳感器與薄膜壓力變送器有哪些優(yōu)勢(shì)
卓越的溫度性能：工溫度寬：-40-175℃（傳感器）；-40-125℃（變送器直接測(cè)量）溫漂小：無補(bǔ)償全溫區(qū)0.02％F.S/℃漂移。長(zhǎng)期穩(wěn)定性和可靠性，在壓力交變頻繁的場(chǎng)合下，使用壽命長(zhǎng)。在航天行業(yè)，用于液氮、液氧測(cè)量的低溫壓力傳感器已經(jīng)成功替代了俄羅斯的濺射薄膜壓力傳感器。這是其它類型傳感器無法實(shí)現(xiàn)的。下圖為澤天傳感設(shè)計(jì)制造的一種最為典型的濺射薄膜壓力傳感器實(shí)物圖。
| 類 型 | 優(yōu) 點(diǎn) | 缺 點(diǎn) |
| 擴(kuò)散硅 | 在溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)（0—50℃或0—70℃）性能穩(wěn)定；小量程和絕壓優(yōu)于其它類型；靈敏度高 | 低于0℃或高于80℃后，溫度穩(wěn)定性會(huì)大幅度降低；不能承受動(dòng)態(tài)壓力；膜片易受損傷。 |
| 厚膜陶瓷 | 成本低；抗腐蝕性好；使用溫度寬 | 輸出跳動(dòng)，不易讀數(shù)；壓力下降時(shí)回零慢、遲滯大；陶瓷膜片薄而脆、易碎 |
| 電容式 | 量程全；抗過載能力強(qiáng)；性能穩(wěn)定 | 體積大；不能承受動(dòng)態(tài)壓力；高溫需充硅油 |
| 應(yīng)變片貼片 | 低成本；成熟傳統(tǒng)工藝 | 由膠引起的時(shí)漂大；靠手工生產(chǎn)離散性大 |
| 濺射薄膜 | 工作溫度寬，溫漂小，精度高 全球公認(rèn)長(zhǎng)期穩(wěn)定性和高可靠性、長(zhǎng)壽命；適用惡劣環(huán)境 | 成本比較高；生產(chǎn)周期長(zhǎng) |
曾經(jīng)大量用于火箭發(fā)動(dòng)機(jī)燃?xì)鉁y(cè)量的貼片式壓力傳感器，由于其固有的缺陷正慢慢的被薄膜壓力傳感器代替。油井高溫流體壓力的檢測(cè)，澤天公司薄膜壓力傳感器占有國(guó)內(nèi)30％左右的市場(chǎng)份額。在頻繁沖擊壓力測(cè)量方面，其它變送器重復(fù)性差，并存在如下缺陷：擴(kuò)散硅、陶瓷型變送器由于靠密封圈密封。經(jīng)過動(dòng)態(tài)壓力的間隙性的沖擊，密封圈容易損壞，而澤天傳感變送器采用全焊接形式，不會(huì)泄漏。貼片式變送器雖能克服泄漏問題，但在壓力的沖擊下，膠層很容易老化，而產(chǎn)生蠕變，因而使用壽命很短。電容式變送器在壓力交變的沖擊下，傳感器膜盒很容易損壞。發(fā)動(dòng)機(jī)行業(yè)，現(xiàn)多采用機(jī)械式壓力傳感器。由于有機(jī)械部件不抗震、精度太低。而擴(kuò)散硅、貼片式又不能解決其溫度問題，所以很快將會(huì)被薄膜壓力傳感器取代。本文源自澤天傳感，版權(quán)所有，轉(zhuǎn)載請(qǐng)保留出處。
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