擴(kuò)散硅壓力傳感器芯體是生產(chǎn)壓力變送器的核心部件。在擴(kuò)散硅壓力傳感器的使用中，存在個(gè)產(chǎn)品別失效導(dǎo)致返修，對(duì)擴(kuò)散硅壓力變送器的變送電路和擴(kuò)散硅壓力傳感器芯體拆解檢測(cè)后發(fā)現(xiàn)，故障產(chǎn)生的原因是擴(kuò)散硅壓力傳感器芯體失效。現(xiàn)將失效的具體情況和解決辦法闡述在本文中并且給出了具體的解決方案。

擴(kuò)散硅壓力傳感器芯體的橋臂間橋阻在正常情況下為 4.5K 左右，經(jīng)檢測(cè)，失效的擴(kuò)散硅壓力傳感器芯體有一橋臂電阻測(cè)得的值為無(wú)窮大，澤天傳感技術(shù)部門把該失效產(chǎn)品解剖后，發(fā)現(xiàn)金絲與本體直接脫落，導(dǎo)致的原因要么就是金絲虛焊長(zhǎng)期使用后掉落或斷開，要么就是擴(kuò)散硅壓力芯體在長(zhǎng)時(shí)間受壓下（超壓）產(chǎn)生裂痕導(dǎo)致芯片內(nèi)部連線斷開。下圖為擴(kuò)散硅壓力傳感器芯體的實(shí)物圖片。

針對(duì)于金絲脫落的失效現(xiàn)象，技術(shù)部門提出四點(diǎn)解決辦法。

1、將 0.025mm的金絲改為0.038mm的金絲；

2、在焊接點(diǎn)處進(jìn)行兩次點(diǎn)焊，一次焊接，二次加固；

3 、將機(jī)械手動(dòng)型點(diǎn)電焊機(jī)改為半自動(dòng)記憶型點(diǎn)焊機(jī)；

4 、用 2500V直流電測(cè)量絕緣度及耐電壓擊穿強(qiáng)度，如果虛焊則焊點(diǎn)處會(huì)起火花。

針對(duì)擴(kuò)散硅壓力傳感器芯片破裂現(xiàn)象，澤天傳感技術(shù)部提出，通過(guò)60000次飽壓沖擊試驗(yàn)，8小時(shí)常溫飽壓試驗(yàn)，2小時(shí)高溫牽引飽壓試驗(yàn)，72小時(shí)通電試驗(yàn)，12小時(shí)（-40 →80 ℃）高低溫試驗(yàn)，24小時(shí)恒溫時(shí)漂試驗(yàn)來(lái)檢測(cè)解決，一般只要能通過(guò)6000次飽壓沖擊試驗(yàn)，那么在后期使用過(guò)程中擴(kuò)散硅芯體就不會(huì)產(chǎn)生裂痕。本文源自澤天傳感，版權(quán)所有，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處！